电子行业应用制氮机的原理
电子行业中制氮机的应用原理主要是通过变压吸附(PSA)或膜分离技术从空气中分离出高纯度的氮气。
制氮机的工作原理
变压吸附(PSA)技术:制氮机利用碳分子筛对氧分子和氮分子的吸附速度差异,通过周期性的压力变化实现氧氮分离。具体过程包括:
加压吸附:空气通过压缩机加压后进入装有碳分子筛的吸附塔,氧气、二氧化碳和水蒸气被吸附,而氮气则通过吸附塔。
减压解吸:当吸附塔内的碳分子筛吸附饱和后,通过减压使氧气等杂质解吸出来,碳分子筛得到再生。
循环工作:两个吸附塔交替进行吸附和解吸过程,实现连续供气。
膜分离技术:制氮机通过高分子膜对氧气和氮气的不同渗透速率实现分离。当压缩空气通过膜分离器时,氧气分子由于渗透速率较高,会更快地通过膜材料,而氮气分子则相对较慢,从而在膜的另一侧实现氮气的富集。
电子行业中的应用
在电子制造业中,氮气被广泛应用于半导体、集成电路等产品的生产过程中,以防止氧化、提高产品质量。具体应用包括:
防止氧化:在半导体制造过程中,氮气作为保护气体,防止芯片在高温处理过程中与氧气反应,从而保证产品的稳定性和可靠性。
提高产品质量:在集成电路封装过程中,氮气可以提供一个无氧环境,减少氧化和污染,确保封装过程的顺利进行
制氮装置规格:
氮气流量:10~1000Nm³/h(根据用户要求量身定做)
氮气纯度:99~99.999%
氮气压力:5~6bar(压力可定制)
控制方式:设备就地PLC控制, 以通讯方式实现主控制室控制,可实现无人值守
适用环境 :5℃~37℃
安装条件:室内,室外,防霜冻,承重混凝土地面,通风良好